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从高纯气体性质和纯度方面考虑

来源:www.wanhuiqt.com         发布时间:2020-11-28 返回列表

高纯气体管道安装上下功夫。管道安装除了配管和附件材质的选择以外,要做好的就是气体管道整体规划设计了。


从气体性质和纯度考虑:

1)  对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置于毒性/腐蚀性气体区。
2)  对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
3)  根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4)  管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

气体检测方面考虑:
1)  为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

2)  在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。

工业气体供应

预防措施
1、监测仪器完好,监测人员在下风头监测须戴防毒用品,施工时随时监测硫化氢浓度,发现硫化气浓度超标,即时报警,施工人员迅速撤离。
2、对含有硫化氢作业井计量出液量时,计量人员须戴防毒用品。
3、井场布置合理,值班房摆在上风头。
4、在含硫化氢的油气井作业时,井口和管材须用防硫的井口和管材

高纯气体管道安装前的整体规划设计影响着整个工程的质量和效率,将问题消灭于萌芽之中。感谢您的阅读,更多气体应用资讯,请关注我们!

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