高纯气体管道安装上下功夫。管道安装除了配管和附件材质的选择以外,要做好的就是气体管道整体规划设计了。
从气体性质和纯度考虑:
1) 对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置于毒性/腐蚀性气体区。2) 在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。
预防措施
1、监测仪器完好,监测人员在下风头监测须戴防毒用品,施工时随时监测硫化氢浓度,发现硫化气浓度超标,即时报警,施工人员迅速撤离。
2、对含有硫化氢作业井计量出液量时,计量人员须戴防毒用品。
3、井场布置合理,值班房摆在上风头。
4、在含硫化氢的油气井作业时,井口和管材须用防硫的井口和管材
高纯气体管道安装前的整体规划设计影响着整个工程的质量和效率,将问题消灭于萌芽之中。感谢您的阅读,更多气体应用资讯,请关注我们!